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高温炉
FGL(RTP)系列滑轨式管式炉(T max 1100℃)


简介:

     滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求,通过移

炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度,然后移动到样品处,达到快速升温的效

果。适合用于广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

  • 工作温度RT-1000℃;
  • 日本进口智能程序控温仪控制精准,可编辑、储存并调用多段程序;
  • 炉壳结构,双层炉壳风冷结构;
  • 不锈钢双层密封法兰,进、出气阀采用美标针阀;  
  • 两端可调式法兰支撑结构,延长石英管使用寿命;                    
  • LED高强度、抗破坏、全不锈钢按钮,经久耐用;
  • 超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电;
  • 安全保护当炉体漏电时自动断电。


技术参数:

设备型号

最高温度

管径

加热区

温度数

热偶

电压

功率

FGL(RTP)-40/11/1

1100

40mm

320mm

1

K

220V

3.0kw

FGL(RTP)-50/11/1

1100

50mm

320mm

1

K

220V

FGL(RTP)-60/11/1

1100

60mm

320mm

1

K

220V

FGL(RTP)-70/11/1

1100

70mm

320mm

1

K

220V

FGL(RTP)-80/11/1

1100

80mm

320mm

1

K

220V




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