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Cubic-200分子束外延生长系统

简介:

      Cubic-200分子束外延生长系统由一体成形的不锈钢腔体组成,无焊接部分,确保了最低的泄露可能性;6个CF100和8个CF40的超高真空标准法兰口,满足分子束外延生长各项部件的安装需求。配有300L/s抽速分子泵及无油前级机械泵,全量程规(或离子规),INFICON膜厚测量仪,4轴变温样品台,最多可装配7个蒸发源,满足多种薄膜材料的生长需求。

基本配置:


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